Научно-популярная промышленность абразивных и шлифовальных инструментов

Химическое осаждение из паровой фазы с помощью горячей проволоки

 

Химическое осаждение из паровой фазы с горячим волокном (HFCVD) — это процесс получения алмазных пленок. Его основной принцип заключается в пропускании смеси углеродосодержащего газа и водорода в камеру реакционной печи путем осаждения из паровой фазы низкого давления при высокой температуре и разложении ее на углеродсодержащие активные группы и возбужденные атомы водорода с помощью горячей проволоки (вольфрамовой проволоки). или молибденовая проволока) при высокой температуре, которые затем наносятся на подложку с образованием углеродной пленки. (Научно-популярная индустрия абразивов и шлифовальных инструментов)